Detalhes essenciais
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MOQ:1
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Introdução do Produto
Overview:
1. Process application: α-Si，SiO2，SixNy，PSG，BPSG
2. Wafer size: 8 inches and below
2. Wafer size: 8 inches and below
3. Applicable substrate material: Silicon, silicon carbide, gallium nitride, gallium arsenide, sapphire, quartz glass
4. Chamber type: Multichip type
4. Chamber type: Multichip type