Vollautomatische RCA-Reinigungsmaschine für Siliziumkarbid/Saphir
Vollautomatische RCA-Reinigungsmaschine für Siliziumkarbid/Saphir
Vollautomatische RCA-Reinigungsmaschine für Siliziumkarbid/Saphir
FOB
MOQ:
1
Versand:
Landtransport, Seetransport
Menge (Stück):
1
Produktdetails
Wesentliche Details
Menge (Stück):1
MOQ:1
Lieferzeit:3~6 months
Versand:Landtransport, Seetransport
Spezifikationsnummer:LKQX300
Produkteinführung
Übersicht:
1. Wafergröße:6–12 Zoll
2. Kapazität:25/50 Stück pro Lauf
3. Prozess:LOAD → SPM → QDR → DHF → QDR → SC1 → QDR → SC2 → QDR → DRYING → UNLOAD
4. Übermittlungsansatz:Mechanischer Arm
5. Taktzeit:5–10 Minuten (einstellbar)
6. Partikelentfernungsrate:≥ 99%
7. Anpassung:Handbuch / Halbautomatisch